NI全新的PXI LCR表（阻抗分析）可帮助您精确地执行直流和阻抗测量。将LCR与SMU功能结合到单插槽PXI的尺寸中，助力高通道密度测量系统与高吞吐并行测试系统的实现，并且在进行I-V（电流-电压）与C-V（电容-电压）测量时，无须再使用开关切换于SMU和LCR表之间，摆脱开关所引入的测量不确定性能获得获得更好的测量品质和更快的测试时间。

NI全新款的PXI LCR表（阻抗分析）适合用于半导体参数测试应用、整合式被动元件（ IPD ）、微机电系统（ MEMS ）、多层陶瓷电容器（ MLCC ）等。兼具了LCR测试仪和SMU的功能，同时具有一流的质量和性能。

通过以上传统方法与NI解决方案的结构对比图可以看出，NI解决方案中SMU与LCR的连接器直接共用，它在切换工作模式的时候，无需通过外部开关矩阵做信号路径的切换。

从MEMS器件看CV/IV测试测量的应用

CV/IV测试对几乎所有的元器件都很重要，今天我们重点谈下当下的一种热门产品——MEMS器件。MEMS也称为微机电系统，是一种先进的加工工艺，应用MEMS技术可使器件体积缩小、功耗降低、灵敏度提高 ，常见的器件有MEMS传感器等。

MEMS从制造工艺到测试测量都要求非常高的精度。以电容式MEMS传感器为例，它通过电容的变化来完成物理量的感知。与电容值相关的测试需要达到fF级别的分辨率，这要求测试仪器具有很高的精度。